東陽テクニカでは、材料の基礎物性の一つである誘電率/誘電損失計測器から
強誘電体のヒステリス測定器、半導体の比抵抗/ホール測定システムなど幅広く取り扱っています。
これらの材料物性評価においては温度制御も必須です。
当社では最低4K~最高1000℃と幅広い温度範囲に対応した温調装置も取り揃えており、
高分子・樹脂・プラスチック・錯体・半導体・セラミクスなど幅広いアプリケーションに適用可能です。
計測器とサンプルホルダを組み合わせたお客様に最適なソリューションでお客様の材料評価をサポートします。

株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103 / Mail:keisoku[at]toyo.co.jp

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インピーダンスアナライザ

半導体、誘電体・固体電解質など様々な材料評価に最適です。誘電体測定では電荷蓄積能力(キャパシタンス)や電荷輸送能力(コンダクタンス)を測定し、高分子の誘電緩和、固体電解質のバルク・粒界抵抗などの重要な情報を得ることができます。
各種サンプルホルダと組み合わせて温調・計測を連動した自動計測システムもご提案可能です。

強誘電体測定システム

バーチャルグラウンド・ローノイズQV/IV変換器や強誘電体評価ソフトウエアを自社開発。微小キャパシタからバルクの高電圧印加分極測定まで、プローバや付帯装置を含めたトータルなソリューションを提供します。

高精度キャパシタンスブリッジ

Andeen-Hagerling社 2700A型、2550A型は、比類ない高安定性、高分解能、高確度のキャパシタンス(C)/損失(D)ブリッジです。ユニークなレシオトランスフォーマと温度コントロールされたヒューズドシリカ標準キャパシタにより非常に高い安定度と確度を実現しています。物理、低温物性分野をはじめ、化学、工業、度量衡の分野で活用されています。

比抵抗/ホール測定システム

半導体材料の比抵抗とホール効果を測定し、その材料のキャリアタイプ、キャリア濃度、キャリア移動度を求める装置です。
交流磁場法やFastHall™法など特許取得の技術を用いて、種々サンプルの測定に対応します。

サンプルホルダ

室温だけでなく材料の特性評価で必要な温調装置を取り揃えております。
冷凍機・クライオスタット・恒温槽・加熱炉など温度範囲は4K~1200℃にわたりご用意しておりますので、お客様に最適なソリューションを提案いたします。
計測器と組み合わせた計測システムとしてもお使いいただけます。

冷却・加熱温度制御ステージ

米国 INSTEC社製ホット・コールドステージは、高温・低温環境下での試料の顕微鏡観察や光学測定を可能にします。顕微鏡や分光器、FTIR、X線回折装置と使用するのに最適なツールです。ガスタイトや真空タイトモデルもご選択頂けます。簡易プローバーは標準で4プローブを有数るので高温低温下での電気特性評価を簡便に行えます。

アプリケーションから探す

誘電率/誘電損失評価

誘電率・誘電損失の評価機器を取り扱っています。誘電体はコンデンサ・絶縁材・封止材など様々な用途で広くされていますが、誘電体・誘電損失評価はこれらのアプリケーションにおいて材料の良否を判定するための必須の評価項目です。

分極/ヒステリシス測定

強誘電体のヒステリシス測定だけでなく、変位バタフライ測定も可能です。
また、関連製品として焦電体や分極電荷量評価可能な焦電体/熱刺激電流(TSC)測定システムを取り扱っています。

伝導度・活性化エネルギー評価

固体電化質の伝導度や活性化エネルギー評価に必要なインピーダンス測定器・温調装置を取り扱っており、バルク・粒界抵抗の切り分けに最適です。

比抵抗/ホール係数/移動度評価

半導体材料の基礎物性パラメータである比抵抗・ホール係数・移動度を算出します。組み合わせる温調器により最低4.2~最高800℃と広い温度範囲での評価が可能です。
また、当社特許技術を適用した交流法により従来では測定困難な高抵抗・低移動度サンプルにも対応可能で、新規材料探索にも最適です。

セレクションガイド

インピーダンスアナライザ 比較表

MIA-5M 4990EDMS MTZ-35 E4990EDMS-120K
特長
  • 最大1TΩの高抵抗測定
  • 高分子、錯体などの材料評価に最適
  • オープン/ショート/ロード補正機能搭載
  • 誘電率測定のスタンダード
  • オープン/ショート/ロード補正機能搭載
  • 最大120MHzの測定に対応
  • 広い周波数範囲:10µHz~35MHz
  • 当社特許技術を適用
  • 温度制御と高周波数測定を両立

装置の制御

制御ソフトウェア 東陽テクニカ社製
HIMSソフトウェア
東陽テクニカ社製
EDMSソフトウェア
Bio-Logic社製
MT-Lab®ソフトウェア
東陽テクニカ社製
EDMSソフトウェア

主な仕様

サンプル接続 2端子 4端子 2端子 / 4端子 2端子
周波数範囲 1mHz ~ 5MHz 20Hz ~ 10M / 20M / 30M / 50M / 120MHz
※ 上限周波数はモデルによる
10μHz ~ 35MHz 20Hz ~ 120MHz
AC信号 0 ~ 3Vp 5mVrms ~ 1Vrms
200μArms ~ 20mArms
0.1mVp ~ 10Vp 5mVrms ~ 1Vrms
200μArms ~ 20mArms
DCバイアス -3V ~ +3V -40V ~ +40V
-100mA ~ +100mA
-10V ~ +10V -40V ~ +40V
-100mA ~ +100mA
基本測定確度 0.2% 0.08%(typical 0.045%) 0.1% 0.08%(typical 0.045%)
インピーダンス
測定範囲
100Ω ~ 1TΩ 25mΩ ~ 40MΩ
(装置外で手動切替は可能)
25mΩ ~ 40MΩ
補正機能 オープン / ショート / ロード オープン / ショート / ロード オープン / ショート オープン / ショート / ロード

その他オプション

温調器との連動
※別途温調機器が必要
高電圧
オプション

(要アンプ /
専用インターフェース)
DC:±4kV AC:800Vpp

サンプルホルダ 比較表

型番
製品名
TTPX
テーブルトップ極低温プローバー
LN-Z2-XX
高周波対応クライオスタット
SH2-Z
4端子サンプルホルダ
SH-T-SP
簡易サンプルホルダ
MT-Z2-300
卓上型高温加熱炉制御システム
HT-Z2-XX
卓上型高温加熱炉制御システム
UHT-Z2-1200
超高温加熱炉制御システム
温度範囲 3.2K ~ 475K
or
20K ~ 675K
90K ~ 473K -20℃ ~ 150℃ -20℃ ~ -150℃ 室温~300℃ 標準モデル:室温 ~800℃
or
室温 ~1000℃
HFモデル:室温~600℃
室温 ~1200℃
温度安定度 ±0.1K ±0.1K
(恒温槽など別途温調器が必要)

(恒温槽など別途温調器が必要)
±1℃ ±1℃ ±1℃
周波数応答性 DC ~67GHz 標準モデル:DC ~100kHz
HFモデル:DC ~100MHz
DC ~1MHz DC ~100MHz DC ~100kHz 標準モデル:DC ~100kHz
HFモデル:DC ~100MHz
DC ~100kHz
サンプル接続 プロービング 標準モデル:上下挟み込み、
ワイヤリング、爪押え
HFモデル:専用サンプルホルダ
上下挟み込み
液体電極
粉体電極(トルクオプション有)
上下挟み込み
(要サンプル側電極)
サンドウィッチ 標準モデル:上下挟み込み、爪押え
HFモデル:専用サンプルホルダ
上下挟み込み
サンプル雰囲気 真空、ガスタイト Heガス置換 大気 標準モデル:真空、ガス置換、2系統
HFモデル:真空、ガス置換、1系統
真空、ガス置換、2系統
冷却/加熱方式 液体ヘリウムフロー 液体窒素冷却 加熱炉 加熱炉 加熱炉
対応サンプル 基板上サンプル(51mmΦ以下) 固体ディスク(12mmΦ以下)
ゲル状サンプル
固体ディスク
粉体
液体
シート
固体ディスク
シート
(要サンプル側電極)
固体ディスク(12mmΦ以下)
液体用セル
固体ディスク(24mmΦ以下)
液体用セル
固体ディスク(24mmΦ以下)
液体用セル
対応計測装置

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