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- ・温度可変・4探針シート抵抗測定
- ・電気計測-今さら聞けない5つの落とし穴-
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- ・FIR vs. IIR ロックイン測定高速化のためのフィルタリング
- ・ナノ構造材料の微小信号測定の信頼性を上げる新たなアプローチ
- ・コモンモードノイズ干渉の影響を最小限に抑えるための実用的なガイド
- ・ナノ材料における量子ホール効果測定-M81型 ロックインアンプ搭載ソースメジャーユニットの使用
- ・M81型機能紹介⑤ ダイナミックレンジの大きなロックイン測定
- ・M81型機能紹介④ 1台でDC+ACロックイン測定
- ・M81型機能紹介③ オートレンジでのロックイン測定 その2
- ・M81型機能紹介② オートレンジでのロックイン測定 その1
- ・M81型機能紹介① ロックインアンプとは
- ・極低温プローブステーションにおける微小電流測定で考慮すべき点
- ・フレキシブル(CVT)プローブの効果
- ・VSM/AGMの原理・特長と磁性材料の評価
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- ・半導体の性能を測定する・新開発ホール測定システムレジテスト8400について
- ・磁石の高性能化に貢献 モーターの省電力化から、コンピュータの大容量化まで、幅広い産業分野の発展に
- ・高効率太陽電池をになう~キャリア濃度と移動度の測定~
技術資料
M81型機能紹介② オートレンジでのロックイン測定 その1
従来の一般的なロックインアンプでは、入力段の増幅ゲインと出力段の測定レンジをそれぞれ手動で設定する必要がありました。測定値の桁が大きく変化するサンプルでは、それらのレンジ設定や調整の難しく、自動測定を困難にしていました。
M81型ロックインアンプ搭載ソースメジャーユニットは、他の機器にはない特徴的なオートレンジ機能を搭載し、測定値が大きく変化するサンプルの自動測定をサポートします。
電圧測定のオートレンジ機能 シームレスなオートレンジ
測定対象電圧が急激に時間変化するような場合、レンジ切り替え中の測定データ飛びが大きいと、その変化の様子をうまく測定ができません。一方で、レンジを固定してしまうと、小さな信号をきちんと測定できなくなってしまいます。
M81型の電圧測定モジュールVM-10は、オートレンジでのレンジ切り替え中の測定データの飛びを最小限に抑える機能を内蔵しています。これにより、例えば抵抗値が短時間で大きく変化するようなサンプルの測定に最適です。
図 1では、可変抵抗器を用いて、抵抗の時間変化をM81とVM-10の組み合わせでロックイン測定するデモンストレーションの結果を示します。数秒間のうちに約1Mohmからほぼ0ohmに変化する抵抗の様子を克明に測定することができています。
電流測定のオートレンジ機能 周波数閾値つきオートレンジ
M81型の電流測定モジュールCM-10も、ユニークなオートレンジ機能を備えています。
電流測定では、特に小さい測定レンジにおいて測定周波数帯域が限られており、例えばCM-10の1nAレンジでは、-3dBとなるカットオフ周波数が90Hzとなっています。測定周波数がこのカットオフ周波数に近くなると、測定結果の誤差が大きくなるため、CM-10は、オートレンジ機能において、周波数の閾値を設定できるようになっています。
周波数の閾値は、カットオフ周波数の0~300%の間で設定ができるようになっており、例えばデフォルトの10%に設定すると、9Hzを超える測定周波数では、測定信号振幅が1nA以下となっても1nAレンジには移行せず、より高いカットオフ周波数を持つレンジにとどまります。これにより、測定周波数帯域が足りないレンジが選択されてしまうことを防ぎます。
図 2に、電流測定のオートレンジ機能を利用した例を示します。この例では、有機太陽電池への照射光をモノクロメータで変調し、変調された光電流をM81型とCM-10の組み合わせで測定しています。測定電流の値は、照射光の波長に応じて7桁にわたって変化していますが、CM-10のオートレンジ機能により、すべて自動で測定が可能です。
この測定では、変調周波数は170Hzとなっており、上述の周波数の閾値10%を適用したため、使用可能最低レンジはレンジとしては1µAレンジでした。それでもpAオーダーまで再現性良く測定できています。
オートレンジ機能搭載 ロックインアンプ:M81型
多ch同期 ロックインアンプ搭載 ソースメジャーユニット M81型
M81型は、従来のDC測定に加え ロックインアンプによる高感度 I-V抵抗測定、微分コンダクタンス測定(高調波)を行える 最新のソースメジャーユニットです。
電圧感度:nV、電流感度:10fA、6端子までの同期測定が可能です。ソフトウエアオプションにより 印加電圧/電流スイープや、温度、磁場制御も可能になります。半導体、超伝導、量子・スピン、二次元、熱電など 先端デバイスの評価に最適です。
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