Lake Shore Cryotronics Inc.(レイクショア / USA)

CPX-VF 垂直磁場2.5T 極低温プローバー

CPX-VF型はCPX型プローブステーションに2.5T垂直磁場超伝導マグネットを搭載したプローバーです。オプションとして、2.0K~400K、高倍率顕微鏡、高真空ポンプシステム、光ファイバー用プローブアームが用意されています。

株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail:keisoku[at]toyo.co.jp

特長

  • 2.5T垂直磁場超伝導マグネット搭載
  • 4.2K~400K温度コントロール
  • オプション:2.0K~400K
  • プローブアーム最大6本まで
  • 周波数:DC~67GHz
  • 冷媒(液体ヘリウムor液体窒素)フローで低振動
    (※磁場の場合は液体ヘリウム)
  • 多段の放射シールド採用で温度安定と冷媒消費量を抑えます
  • 51mmφサンプル、5°シータ機構
  • LakeShore社製 336型温度コントローラ2台付き
  • 70倍CCDカメラ、LDC付き

仕様

基本

温度範囲 4.2K ~ 400K
オプション利用時 2.0K ~ 400K(PS-LT)
温度測定 サンプルステージ
マグネットステージ
放射シールド
プローブアーム
冷媒消費量 約4Kまでの冷却時:20L
温度制御時:3L/h
※ 液体ヘリウム使用時の目安値です

プローブ部

可動範囲 X軸:51mm (分解能:20μm)
Y軸:25mm (分解能:10μm)
Z軸:18mm (分解能:10μm)
周波数範囲 DC/RFプローブ:DC-50MHz
GSGプローブ:DC-67GHz

カメラ/モニタ

顕微鏡倍率 70倍カメラ(4μm分解能)
モニタ 液晶モニタ

チャンバー部

到達真空度 10⁻²Pa (室温)、10⁻³Pa(最低温度)
サンプルサイズ φ32mm(GND型)、オプションφ51mm
観察窓 チャンバの窓(溶融石英):φ54mm
放射シールドの窓(IR吸収窓):φ50mm
サイズ 737.6mm × 610mm × 1320mm
重量 386kg以下(出荷時)

その他

LakeShore社製 625型超伝導磁石用電源(バイポーラ、±60A/±5V)付き
・液体ヘリウムトランスファーチューブ付き
※ 0.5インチウィルソンシール付き自己加圧型デュワーをご用意ください。

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アプリケーションノート「低温プローブステーションにおけるウェハー取り付け方法」

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