Lake Shore Cryotronics Inc.（レイクショア / USA）
CPX 高真空極低温プローバー
高真空極低温プローバー
CPX型高真空極低温プローブステーションは、TTPXに比べ放射シールドを多段階で備えることにより温度安定度が高まり、さらに冷媒の消費量を少なくしています。オプションとして、より低温な温度範囲の1.5K～400Kもしくは高温な温度範囲の20K～675K、高真空（10⁻⁵ Pa）、振動遮断システムなどがあります。
また、プローブアームを1～6本まで選択可能です。液体ヘリウムのみならず液体窒素も使えます。
高真空ポンプシステム、光ファイバーの組込も可能です。
株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail：keisoku[at]toyo.co.jp
特長
- 4.2K～475K温度コントロール
- オプション：1.5K～440K、20K～675K
- プローブアーム最大6本まで
- 周波数：DC～67GHz
- 冷媒（液体ヘリウムor液体窒素）フローで低振動
- 多段の放射シールド採用で温度安定
- 51mmφサンプル、5°シータ機構
- LakeShore社製 336型温度コントローラ2台付き
- 70倍CCDカメラ、LDC付き
仕様
基本
| 温度範囲 | 4.2K ～ 475K |
|---|---|
| オプション利用時 | 1.5K（温調1.6K ～ 400K）（PS-VLT-CPX） 2.0K ～475K（PS-LT） 20K ～ 675K（XPS-HTSTAGE-10945） |
| 温度測定 | サンプルステージ 放射シールド プローブアーム |
| 冷媒消費量 | 約4Kまでの冷却時：15L 温度制御時：3L/h ※ 液体ヘリウム使用時の目安値です |
プローブ部
| 可動範囲 | X軸：51mm （分解能：20μm） Y軸：25mm （分解能：10μm） Z軸：18mm （分解能：10μm） |
|---|---|
| 周波数範囲 | DC/RFプローブ：DC-50MHz GSGプローブ：DC-67GHz |
カメラ/モニタ
| 顕微鏡倍率 | 70倍カメラ（4μm分解能） |
|---|---|
| モニタ | 液晶モニタ |
チャンバー部
| 到達真空度 | 10⁻²Pa （室温）、10⁻³Pa（最低温度） |
|---|---|
| サンプルサイズ | φ32mm（GND型）、オプションφ51mm |
| 観察窓 | チャンバの窓（溶融石英）：φ54mm 放射シールドの窓（IR吸収窓）：φ50mm |
| サイズ | 737.6mm × 610mm × 1320mm |
| 重量 | 386kg以下（出荷時） |
その他
・液体ヘリウムトランスファーチューブ付き
※ 0.5インチウィルソンシール付きデュワーをご用意ください。
・真空ポンプ径：NW40、冷媒排出口径：NW16、NW25
