Lake Shore Cryotronics Inc.（レイクショア / USA）
CRX-6.5K 無冷媒・ローコスト 極低温プローバー
CRX-6.5K型機械式冷凍機プローブステーションは、冷媒不要のプローバーです。一般的に、フロータイプに比べて機械式冷凍機は振動が大きいためプローバーには不向きと言われていますが、Lake Shore社は振動を2μm以下と非常に小さく抑えることに成功いたしました。
また、各種オプションとして、高倍率顕微鏡、真空ポンプシステム、光ファイバー用プローブアームが用意されています。
株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail：keisoku[at]toyo.co.jp
特長
- 機械式冷凍機で冷媒不要
- 10K～350K温度コントロール
- オプション：20K～675K
- 温度安定度：10mK
- プローブアーム最大6本まで
- 周波数：DC～67GHz
- サンプル交換時間：6.25時間
- 低振動：2μm
- 放射シールドにより外部からの熱流入小
- LakeShore社製 336型温度コントローラ付き
- 70倍CCDカメラ、LDC付き
仕様
基本
| 温度範囲 | 10K（温調 10K ～ 350K） |
|---|---|
| オプション利用時 | 20K ～ 675K（XPS-HTSTAGE-10945） |
| 温度測定 | サンプルステージ 冷凍機1st/2ndステージ 放射シールド プローブアーム |
| サンプル交換時間 | 6.25時間 |
プローブ部
| 可動範囲 | X軸：51mm （分解能：20μm） Y軸：25mm （分解能：10μm） Z軸：18mm （分解能：10μm） |
|---|---|
| 周波数範囲 | DC/RFプローブ：DC-50MHz GSGプローブ：DC-67GHz |
カメラ/モニタ
| 顕微鏡倍率 | 70倍カメラ（4μm分解能） |
|---|---|
| モニタ | 液晶モニタ |
チャンバー部
| 到達真空度 | 10⁻²Pa （室温）、10⁻³Pa（最低温度） |
|---|---|
| サンプルサイズ | φ32mm（GND型）、オプションφ51mm |
| 観察窓 | チャンバの窓（溶融石英）：φ54mm 放射シールドの窓（IR吸収窓）：φ50mm |
| サイズ | 本体：775mm × 600mm × 1400㎜ コンプレッサ：485mm × 430mm × 510mm |
| 重量 | 本体：455kg（出荷時） コンプレッサ：98kg（出荷時） |
その他
・コンプレッサ用電源：単相200VAC / 20A、50/60Hz
・コンプレッサ用冷却水：2.7L/min、3kW以上
