Lake Shore Cryotronics Inc.（レイクショア / USA）
TTPX テーブルトップ 極低温プローバー
TTPX型は6本までのマイクロマニピュレータを装備できる卓上コンパクトな極低温プローバーです。TTPXは極低温環境下での電気特性、光物性評価が可能で、直径51mmまでのサンプルや多数のデバイスをウェーハ上に作成した場合も切り出しやワイヤボンディングなしで電気測定が可能です。また、放射熱をカットするために、放射シールド、サンプルステージの2段階冷却構造を有しており、サンプルを確実に冷却することが可能です。
株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
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特長
- 4.2K～475K温度コントロール
- オプション：3.2K～475K、20K～675K
- プローブアーム最大6本まで
- 周波数：DC～67GHz
- 冷媒（液体ヘリウムor液体窒素）フローで低振動
- 放射シールドにより外部からの熱流入小
- LakeShore社製 336型温度コントローラ付き
- 70倍CCDカメラ、LDC付き
仕様
基本
| 温度範囲 | 4.2K ～ 475K |
|---|---|
| オプション利用時 | 3.2K ～ 475K（PS-LT） 20K ～ 675K（XPS-HTSTAGE-10945） |
| 温度測定 | サンプルステージ 放射シールド プローブアーム |
| 冷媒消費量 | 約4Kまでの冷却時：5L 温度制御時：3L/h ※ 液体ヘリウム使用時の目安値です |
プローブ部
| 可動範囲 | X軸：51mm （分解能：20μm） Y軸：25mm （分解能：10μm） Z軸：18mm （分解能：10μm） |
|---|---|
| 周波数範囲 | DC/RFプローブ：DC-50MHz GSGプローブ：DC-67GHz |
カメラ/モニタ
| 顕微鏡倍率 | 70倍カメラ（4μm分解能） |
|---|---|
| モニタ | 液晶モニタ |
チャンバー部
| 到達真空度 | 10⁻²Pa （室温）、10⁻³Pa（最低温度） |
|---|---|
| サンプルサイズ | φ32mm（GND型）、オプションφ51mm |
| 観察窓 | チャンバの窓（溶融石英）：φ54mm 放射シールドの窓（IR吸収窓）：φ50mm |
| サイズ | 654mm × 676mm × 600mm |
| 重量 | 100g以下（出荷時） |
その他
・液体ヘリウムトランスファーチューブ付き
※ 0.5インチウィルソンシール付きデュワーをご用意ください。
・真空ポンプ径：NW25、冷媒排出口径：NW16
