YIG(Yttrium iron garnet) 単結晶薄膜
YIG（Yttrium iron garnet）単結晶薄膜はマイクロ波損失が非常に低いため、マイクロ波コンポーネントに使用されます。 また、μmの膜厚を必要とする電気的遅延線や移相器・光磁気アイソレータやサーキュレータなどの非可逆コンポーネントや、ブラッグセル変調器へも応用が考えられます。
また、最近ではマイクロ・ナノ構造（ナノマグノニクス）を持つスピン波デバイス（YIGマグノニクス）の有望なベース材料として、また、また適切なインターフェースを介して電子・スピン電子素子とのリンク用途でも使用が検討されています。
株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
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特長
- エピタキシャル成長による単結晶YIG（GGG基板上）
- 表面粗さ (RMS): <0.5nm
- FMR 線幅 (FWHM): 2Oe at 10GHz
- 片面コーティング(要望あれば両面可能)
- GGG 基板 厚さ: 0.5 ± 0.05mm
- 結晶方位: (111)
ラインアップ
| サイズ | 3inchウェハ 1/2 3inchウェハ 10 x 10mm2 3 x 3mm2 ※この他のサイズはお問い合わせください |
|---|---|
| 厚さ | 100nm前後 200nm前後 1µm～20µm ※この他の厚みはお問い合わせください |
| 厚み公差(中央部80%域) | <±1%（品質A+） <±5%（品質A） ※品質Aを狙って製造することはございません |