Matesy GmbH(マテジー / ドイツ)

YIG(Yttrium iron garnet) 単結晶薄膜

YIG(Yttrium iron garnet)単結晶薄膜はマイクロ波損失が非常に低いため、マイクロ波コンポーネントに使用されます。 また、μmの膜厚を必要とする電気的遅延線や移相器・光磁気アイソレータやサーキュレータなどの非可逆コンポーネントや、ブラッグセル変調器へも応用が考えられます。
また、最近ではマイクロ・ナノ構造(ナノマグノニクス)を持つスピン波デバイス(YIGマグノニクス)の有望なベース材料として、また、また適切なインターフェースを介して電子・スピン電子素子とのリンク用途でも使用が検討されています。

株式会社東陽テクニカ 理化学計測部
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特長

  • エピタキシャル成長による単結晶YIG(GGG基板上)
  • 表面粗さ (RMS): <0.5nm
  • FMR 線幅 (FWHM): 2Oe at 10GHz
  • 片面コーティング(要望あれば両面可能)
  • GGG 基板 厚さ: 0.5 ± 0.05mm
  • 結晶方位: (111)

ラインアップ

サイズ 3inchウェハ
1/2 3inchウェハ
10 x 10mm2
3 x 3mm2
※この他のサイズはお問い合わせください
厚さ 100nm前後
200nm前後
1µm~20µm
  ※この他の厚みはお問い合わせください
厚み公差(中央部80%域) <±1%(品質A+)
<±5%(品質A)  
  ※品質Aを狙って製造することはございません