半導体製造の安定供給を実現する状態監視ソリューション
製品情報
この数年、世界は未曽有の半導体不足という問題に直面し、大混乱に陥っています。半導体製造における歩留まりの改善や、半導体の安定供給は国を挙げて取り組んでいる最重要項目の一つです。半導体の製造工場には、実際に製造するクリーンルームとは別に、サブファブが存在します。このサブファブには、真空ポンプやチラーなど、半導体の製造を支えるさまざまな設備があります。設備にある機械装置は、一般的に可動部があるため定期的な点検が必要で、特に真空ポンプやチラーなどは回転機構を有しているので、その軸受けやファンブレードといった部品を定期的に分解して点検をしなければなりません。このような点検には時間とコストがかかるため、管理の観点では定期点検の周期に頭を抱えることもあると思います。また、定期点検では異常がなくても、点検周期の間に突発的な異常が発生すると、半導体の生産に大きな影響を与えてしまいます。例えば、真空ポ...
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