事例紹介・技術資料

圧電型(PE)、ピエゾ抵抗型(PR)、容量型(VC)センサ

加速度計は、機械的な加速度入力の結果として電気信号を出力するトランスデューサです。最も一般的なタイプの加速度計は、圧電効果によって動作します。圧電型(PE)加速度計は、一般に2つのグループに分類されます。すなわち、低インピーダンス電圧型(例えば、PCB Piezotronicsの商標であるICP®)または電荷出力型です。他のタイプの加速度計変換方式としては、ストレインゲージ技術に基づくピエゾ抵抗型(PR)、および(可変)容量型(VC)などがあります。

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結晶形状、せん断(シェア)、圧縮、曲げビーム構造

前回は、圧電型加速度計の基本的な機能と構造について説明し、理想的な性能の加速度計の出力は「直線」の挙動であることをお伝えしました。これは、振幅と位相、および振幅の直線性に関して平坦な周波数応答を
意味します。今回は、圧電型加速度計の内部受感素子構造の一般的な設計をいくつかご紹介します。圧電材料(水晶またはセラミック)と形状(せん断、圧縮、反転圧縮、または曲げビーム)の両方について説明します。これらの設計は、ICP®加速度計または電荷出力型加速度計のどちらであっても適用可能です。
 

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基本的構造

しばしば、加速度計は内部構造や機能を無視して「ブラックボックス」として扱われます。今日では動的データ収録装置にICP®センサ電源を内蔵させることが多くなり、2線式の定電流信号調整も「ブラックボックス」扱いされることがよくあります。その結果、多くのユーザが動的センサの構造と性能に関するより多くの情報を求めています。

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第13回 アクチュエータとしてのトランスデューサ/ 音や振動のアクティブコントロール

1980年代以前、アクティブな対策を実現するには電気信号の処理速度がネックでした。その後20~30年の間のデジタル信号プロセッサ(DSP)の大規模な発達により、処理速度による制約は解消されました。その代わりに、トランスデューサによる制限がネックとなっています。

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