半導体製造の各工程において、装置の挙動を把握することが求められています。また、微細化が進む中、装置またはウェーハでの変位や振動を計測する必要性は増しています。そのような要求に応えるため、当社が提供する加速度センサ/変位センサは、高精度かつ高分解能での検出が可能で、多くの半導体製造装置で活用されています。センシングだけでなく、その計測および解析にも力を入れており、これらの機器を展示しています。

振動計測システム詳細

変位計測システム詳細

FFTアナライザ詳細

IMI Sensorsは高精度な加速度計などをグローバルに提供するPCB Piezotronics社の一部門で、工業用センサ等を設計・製造する企業です。圧電式の加速度計、多軸加速度計、速度センサ、4 ～ 20 mA 振動トランスミッター、振動スイッチ、圧力センサや、リレー、ケーブル、ディスプレイ、アクセサリなど、設備監視を行う機器をトータルに提供しています。 また、超高温、極低温、防爆、防水といった過酷な環境下でも使用できるセンサも多数取り揃えています

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Broadsens 社は、2015 年に米国カリフォルニア州シリコンバレーに設立されました。Broadsens社 は、ワイヤレス振動センサ、温度センサ、小型超音波センサ、多チャンネル超音波厚さ計などの超低電力ワイヤレス センサと構造ヘルスモニタリング システムを開発しています。 Broadsens社のワイヤレス振動センサ は、サイズ、重量、バッテリー効率、仕様において業界最高レベルを誇っており、半導体工場を含む生産設備の状態監視用として、世界中で利用されています。

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半導体チップの3D積層化においては、集積回路がより複雑になるため、その構造解析には高度なツールが必要になっています。TESCAN社製FIB-SEMは、キセノン（Xe）プラズマイオンを用いることで従来のGaイオンFIBに比較して50倍以上のミリングレートが可能となり、加工範囲が最大1mmを実現。大容量3次元トモグラフィー像の取得やDelayering解析にも対応しています。

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M91型は米国Lake Shore社が特許（米国特許番号：9797965）を持つFastHall測定技術を搭載しており、ホール電圧測定中に印加する磁場極性を切替える必要がなく、半導体材料の比抵抗、キャリア密度(濃度)、移動度を高速で計測します。ホール測定に必要な電流源、電圧計、高速スキャナ(スイッチ)、計測制御ソフトウエアがワンパッケージに集約され、より高い精度、従来にない測定スピード、利便性を提供する画期的なホール効果測定器です。

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