SPECTRAL CTは、サンプルとの相互作用によって減衰する入射X線のスペクトルを利用して、従来のマイクロCTでは不可能だった材料内部の化学情報を3次元的に明らかにすることができます。非破壊で材料内部の任意箇所の化学情報を取得でき、内部構造・ミクロ組織と組み合わせて評価することが可能です。

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ゴムの硬さの評価は様々ありますが、押し込みの手法としてはショア硬さ（デュロメータ）が挙げられます。デュロメータのタイプAでは先端が平らな圧子を材料の表面に押し当て凹み量を計測します。ナノインデンターでこのゴム硬さとの相関を検証しました。

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ナノインデンテーション法を用いて硬度やヤング率を測定する場合に、サンプルによっては値が大きくばらつきを持つことがあります。ばらつきが大きくなった原因となる事例を本稿でご紹介いたします。

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ナノインデンターの機能として、動的荷重を用いることで硬度・ヤング率の深さプロファイルを取得することが可能です。本稿ではこの技術の肝である連続剛性測定法(CSM)の基本原理について解説します。

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測定の目的に応じて適切な圧子を選択することは大切です。当社では主に6種類の異なる形状の圧子を提供しています。

• バーコビッチ
• ビッカース
• キューブコーナー
• 円錐
• 球
• フラットパンチ

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ナノインデンターでは平坦な試料面への押し込み試験が従来多く行われてきました。しかし、より製品に近い形態では試験面が傾いている場合が考えられます。そこで、斜面への押し込み試験を実施した場合に、測定結果であるヤング率と硬度にどのような影響を及ぼすかを検討しました。

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ナノインデンテーション法の規格であるISO14577に準拠した押し込み試験により求められるパラメータについて解説します。

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機械特性評価とは何でしょう？ 機械特性とは物質の圧縮・引っ張りで得られる特性です。また、衝撃や摺動により得られる特性も機械特性に含まれます。つまり硬さ、引っ張り強度、耐擦過性、割れ難さと言った特性を機械特性と呼びます。薄膜の強度を求める手法として昨今ナノインデンターが注目されています。

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押しこみ試験の国際規格ISO14577について解説します。
ISO14577の制定によって、装置の性能を校正・評価して一貫した繰返し性のある試験測定結果を保証することが、標準かつゆるぎないものになりました。 この結果として、試験結果に対する高度な確信、信頼度、繰返し性が得られました。ISO14577の方法を実行することによって、測定における誤差の余地を最小化し、再現性を増加させ、結果を比較することが可能になります。

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みなさんの「目」の分解能は0.1mm程度といわれています。顕微鏡の中で最も身近な「光学顕微鏡」の分解能は0.2um程度です。光学顕微鏡によって、 人間をはじめとする生物の体が細胞の集まりであることが明らかになりました。しかし、我々の健康を脅かすインフルエンザウィルスは100nm程度の大きさ なので、光学顕微鏡では見えません。そのウィルスの存在を明らかにしたのが「電子顕微鏡」です。今や電子顕微鏡は生命科学だけでなく、半導体故障解析や先 端材料開発などに欠かすことができません。ここでは「電子顕微鏡」の中で最も汎用的な「走査電子顕微鏡」の原理を紹介します。

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