NanoBlitz 4D はナノメカニクス社のコントローラの超高速積算能力と高感度アクチュエータの組み合わせで、1 インデントを3.5 秒で実現し、最高30 × 30 のデータ密度で、ダイナミック試験を連続実行し、機械特性にXYZ 軸の座標系を加えた4D データの取り込みを行います。さらなるスピードアップ、最大データ数の増加、対応試料の範囲の増加のために開発が続けられています。

特長

• 材料表面の内部機械的特性の評価
• 高速インデンテーション
  • サンプリング時間：3.5 秒
  • 最高インデンテーション数：1000
  • 間隔：200nm（NanoFlip にて）
• 3 次元直交表示
• XYZ 直交軸にスチフネス／硬度／ヤング率
• 深さVS ヤング率／硬度のマッピング
• 5 情報（トポグラフィ、深さ、スチフネス、硬度、ヤング率）を1 試験で同時取り込み／マッピング

仕様

• 最大荷重：50mN（InForce50 でのみ対応）
• 速度：約3.5 秒／インデント（試料、ステージに依存）
• 最大インデント数：30 × 30 列
• データ出力：MATLAB 他
• 機械特性：ヤング率、硬度、スチフネス
• インデント間隔：約2μm（iNano）
  （インデントの深さ／径、あるいは試料に依存）

測定例

誘電体層と金属層が重なった構造を持つマイクロエレクトロニクス

SEM像

光学像