微小な領域を拡大･観察･分析するイメージング技術は、基礎的・応用的学術分野において、現象の究明、ならびに検証・証明に欠かせない技術です。特に、世界で戦う科学者にとって、世界最先端のイメージング技術により得られる情報を迅速かつ的確に理解し、研究を正しい方向に導くことは、国際競争を勝ち抜く上でも非常に重要です。また、経済のグローバル化が進む中、世界市場をターゲットとする企業においても同様、研究開発・商品化・品質管理・品質保証など、製品に関わるあらゆる点でイメージング技術が利用されており、重要な役割を担っています。

このような背景の中、慶應義塾大学理工学部中央試験所は、透過型電子顕微鏡をはじめ世界最先端のイメージングツールを基礎科学・基礎工学に活用してきました。それだけに止まらず、産学官連携による学外研究支援や理工学部創立75年記念事業の一つとして設立された慶應義塾イノベーションファウンダリーによる革新的産学連携研究プロジェクトなどの対象となる試料を目的に応じて素早く・的確に作成する技術を磨いています。

一方、東陽テクニカでは、電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）、ナノ/マイクロCTスキャナ、および最新の硬さイメージング(ナノインデンター)など、欧米の最先端のイメージングツールや技術をいち早く導入し、装置販売を目的としたデモンストレーションを多数行ってきました。

これら双方が持つ資産・技術を融合し、試料作成からイメージング、さらにはデータ解釈などの技術・情報をいち早く社会に提供することで学術・産業両分野に貢献できると考え、独創的で有益な技術の研究開発を行い、成果を再び産業界に還元する「ナノイメージングセンター」を設立しました。

表面極表層の観察と、従来のFE-SEMでは不可能な画像診断を可能とした、世界で唯一の走査電子顕微鏡。

左）インレンズ2次電子像（形状イメージ）
中）インレンズ反射電子像（マテリアルコントラスト）
右）高効率ET検出器による2次電子像
（凹凸感のある形状イメージ）
（加速電圧1.5kVで観察）

ナノ/マイクロメートルの分解能を維持しつつ、大領域観察と構造の数値化を可能にした世界最高レベルのCTスキャナ。

【CFRP（短繊維）】
左）大領域での3D画像（縦 4.5mm）
右）データ処理で 520 μm角を拡大表示
個々の繊維が明瞭に分離できています

硬度とヤング率の2次元イメージングに加え、深さ方向の情報も加えた 最新型硬さイメージングシステム。積層構造物の製造プロセスなどの評価に使えると期待されている。

【マイクロエレクトロニクス・誘電体層と金属層の多層構造】
左）SEM像
右）機械特性像・深さ150 nm部分を表示