フラウンホーファーはドイツにある国立研究機関です。世界最先端の機器開発も行っています。
Fraunhofer IWS Dresden
ドイツ Fraunhofer研究所製のLAWaveシステムは、SAW(表面弾性波)法を用いた超薄膜ヤング率測定システムで、5nm厚のDLC膜のヤング率測定も可能です。