EFMプローブ
プローブと試料との間の電流測定、試料の表面電位の観察、強誘電体のマッピング、キャパシタンス測定など、各種電気力測定に使用可能な導電性を持ったプローブです。
特長
- PtIr5コート：プローブ全体に約25nmのPtIr5をコーティングし、導電性を持たせています。金属をコーティングすることで、抵抗率を低減させています。
- 主な仕様： Cr/PtIr5からなる25nmの2層膜コート
- 主な用途： 電気力顕微鏡(EFM)・表面電位顕微鏡・電流マッピング・圧電応答イメージ・キャパシタンス顕微鏡）
仕様
| 製品名 | 測定モード | タイプ | チップコート | 反射コート | 曲率半径 | カンチレバー長さ | バネ定数 | 共振周波数 | チップ高さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EFM | ACモード | フォースモジュレーション | PtIr5 | PrIr5 | 25nm | 225μm | 2.8N/m | 75kHz | 10～15μm |
| EFM-T100 | ACモード | フォースモジュレーション | PtIr5 | PrIr5 | 100nm | 225μm | 2.8N/m | 75kHz | 10～15μm |
| Arrow EFM | ACモード | フォースモジュレーション | PtIr5 | PrIr5 | 25nm | 240μm | 2.8N/m | 75kHz | 10～15μm |