導電性ダイヤモンドコートプローブ
チップ先端部に多結晶ダイヤモンドをコートしたプローブ。不純物をドープし、導電性を持たせています。高電流イメージング・拡散抵抗イメージ・キャパシタンス顕微鏡・圧電変位測定に適しています。
特長
- コーティングの仕様
- 多結晶ダイヤモンド 100nm コーティング
- 抵抗率 ： 3～5 mΩcm
- プローブ全体の抵抗 ： 10 kΩ 以下
（Au または Pt 表面との接触時）
- 強い接触力、µAレベルの大電流が求められる電流測定, 拡散抵抗イメージ, キャパシタンス顕微鏡, 圧電変位測定など
仕様
| 製品名 | 測定モード | タイプ | チップコート | 反射コート | 曲率半径 | カンチレバー長さ | バネ定数 | 共振周波数 | チップ高さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| CDT-NCHR | ACモード | 高共振周波数 | 導電性ダイヤモンド | Al | 130nm | 125μm | 80N/m | 400kHz | 10～15μm |
| CDT-NCLR | ACモード | 低共振周波数 | 導電性ダイヤモンド | Al | 130nm | 225μm | 72N/m | 210kHz | 10～15μm |
| CDT-FMR | ACモード | フォースモジュレーション | 導電性ダイヤモンド | Al | 130nm | 225μm | 6.2N/m | 105kHz | 10～15μm |