SEIHプローブ
SEIHは、旧SII社製の300kHz帯の高共振周波数に対応していないタイプの装置向けにデザインされたプローブです。DFM（ダイナミックフォースモード）測定に適しています。
特長
高分解能観察を実現する先鋭な探針
PointProbe(R) シリーズ ： 8nm 以下 （12nm 以下を保証）
探針部の仕様
材 質 ： 高ドープされた単結晶 Si
探針長さ ： 10～15 µm
ハーフコーンアングル ： 20～25°（正面から見た場合）
： 25～30°（側面から見た場合）
探針正面
探針側面
仕様
| 製品名 | 測定モード | タイプ | チップコート | 反射コート | 曲率半径 | カンチレバー長さ | バネ定数 | 共振周波数 | チップ高さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SEIHR | ACモード | 旧SII社用 | - | Al | 8nm | 225μm | 15N/m | 130kHz | 10～15μm |