磁気力顕微鏡(MFM)用プローブ　

特長仕様ラインナップ・見積依頼 MFMプローブの選択のポイント MFMR（強磁性膜コート） S-MFMR（軟磁性膜コート）

磁気力顕微鏡(MFM)用のプローブです。幅広いアプリケーションに対応するため、各種磁性膜(強磁性・軟磁性)を取り揃えています。

特長

製品シリーズ名	測定モード	タイプ	チップコート	保磁力	磁化度	チップ部モーメント	反射コート	曲率半径	カンチレバー長さ	バネ定数	共振周波数	チップ高さ
MFMR	ACモード	フォースモジュレーション	強磁性	300Oe	300emu/cm3	10-13emu	Al	50nm	225μm	2.8N/m	75kHz	10～15μm
S-MFMR	ACモード	フォースモジュレーション	軟磁性	0.75Oe	225emu/cm3	x0.75	Al	30nm	225μm	2.8N/m	75kHz	10～15μm

*値はティピカルです。

磁気モーメントの大きなプローブを使用。ただし、磁気モーメントが大きくすることで、サンプルの磁気ドメインに影響を与えるケースがある。

先端曲率の小さく高アスペクト形状の探針に薄い磁性膜をコートしたプローブが必要。ただし、プローブの磁気モーメントが小さくなり、磁気力の検出感度が低下する。

保磁力の小さいサンプルに対して、保持力の小さなプローブを使用。プローブまたはサンプルの保磁力の大きさに差がある場合、保磁力の小さい方の磁性が変動する。

強磁性膜をコーティングし、検出感度と面分解能、保持力のバランスを取った標準タイプMFMプローブ。磁性材のMFM観察に幅広く対応します。

DATの表面形状イメージとMFMイメージ

軟磁性膜をコーティングし、チップ部の保持力を小さくしたMFMプローブ。保磁力の小さなサンプルの磁気ドメイン観察に対応。一方、非常に強い強磁性材のサンプルの観察では、低保磁力のプローブの磁化が常に反転する（標準MFMプローブではランダムに反転）ことを利用する場合があります。

54nmピッチのハードディスクを観察した例。
左はビットの半ピッチで磁化の反転が見られる。