スーパーシャープ・シリコン(SSS)プローブ
PointProbePlusシリーズの先端をさらに先鋭化し、先端曲率半径が2nm(5nm未満を保証)のプローブです。ナノ構造およびマイクロラフネスの解像度を高める、世界で最もシャープなAFMプローブです。フォースモジュレーション、タッピングモード、ノンコンタクトモード測定に使用可能なラインナップを取り揃えています。
特長
- 先端径のティピカル値2nm(<5nm保証)
- 先端から200nmでのアスペクト比4:1
- 先端から200nmでのハーフコーンアングル<10°
- 静電チャージ散逸のための高ドープ
- 高感度測定のための高Q値
仕様
製品名 | 測定モード | タイプ | チップコート | 反射コート | 曲率半径 | カンチレバー長さ | バネ定数 | 共振周波数 | 高アスペクト部分高さ |
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SSS-NCH | ACモード | 高共振周波数 | - | - | 2nm | 125μm | 42N/m | 320kHz | 150nm |
SSS-NCL | ACモード | 低共振周波数 | - | - | 2nm | 225μm | 48N/m | 190kHz | 150nm |
SSS-SEIH | ACモード | SII社用 | - | - | 2nm | 225μm | 15N/m | 130kHz | 150nm |