AR(高アスペクト)プローブ
ノンコンタクトモードまたはタッピングモードで急峻な壁や底面の形状を正確にトレースするためのプローブです。
一般的なプローブの先端をサブトラクト法によってFIB加工をすることで、探針先端のアスペクト比が5:1もしくは10:1でありながら、水平方向の堅牢性と先端の剛性が高いプローブを提供しています。 装置に取り付けた際に高アスペクト部が垂直になるように、13°傾いた状態でFIB加工をしたタイプのプローブ（AR5T）もあります。
特長
- 高アスペクト比部分の長さ ＞2μm（AR5）、＞1.5μm（AR10)
- 探針の曲率半径 ＜15nm（保証値）
- 先端から2μm部分のハーフコーンアングル ＜5°（AR5)
- 先端から1.5μm部分のハーフコーンアングル ＜2.8°（AR10)
- シリコン単結晶一体型
- 静電気を散逸させるために高ドープされたSi
仕様
| 製品名 | 測定モード | タイプ | アスペクト比 | 反射コート | 曲率半径 | カンチレバー長さ | バネ定数 | 共振周波数 | 高アスペクト部分高さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| AR5-NCHR | ACモード | 高共振周波数 | 1:5 | Al | <15nm | 125μm | 42N/m | 320kHz | >2μm |
| AR5T-NCHR | ACモード | 高共振周波数 | 1:5 | Al | < 15nm | 125μm | 42N/m | 320kHz | > 2μm |
| AR10-NCHR | ACモード | 高共振周波数 | 1:10 | Al | < 15nm | 125μm | 42N/m | 320kHz | > 1.5μm |
| AR5-NCLR | ACモード | 低共振周波数 | 1:5 | Al | < 15nm | 225μm | 48N/m | 190ｋHz | > 2μm |
ラインナップ・見積依頼
| 型番 | 本数 | 特性表 | |
|---|---|---|---|
| AR5-NCHR-10 | 10 | 個別特性値 | 見積もりカートへ |
| AR5-NCHR-20 | 20 | 個別特性値 | 見積もりカートへ |
| AR5-NCHR-50 | 50 | なし | 見積もりカートへ |
| AR5-NCHR-W | 380 | 代表特性値 | 見積もりカートへ |
| AR5T-NCHR-10 | 10 | 個別特性値 | 見積もりカートへ |
| AR5T-NCHR-20 | 20 | 個別特性値 | 見積もりカートへ |
| AR5T-NCHR-50 | 50 | なし | 見積もりカートへ |
| AR5T-NCHR-W | 380 | 代表特性値 | 見積もりカートへ |
| AR10-NCHR-10 | 10 | 個別特性値 | 見積もりカートへ |
| AR10-NCHR-20 | 20 | 個別特性値 | 見積もりカートへ |
| AR10-NCHR-50 | 50 | なし | 見積もりカートへ |
| AR10-NCHR-W | 380 | 代表特性値 | 見積もりカートへ |
| AR5-NCLR-10 | 10 | 個別特性値 | 見積もりカートへ |
| AR5-NCLR-20 | 20 | 個別特性値 | 見積もりカートへ |
| AR5-NCLR-50 | 50 | なし | 見積もりカートへ |
| AR5-NCLR-W | 380 | 代表特性値 | 見積もりカートへ |