超高アスペクト比EBDプローブ
一般のAFMからインラインプロセス用自動測定AFMまで使用可能な超高アスペクト比プローブです。FIBシリコンAFMプローブの高性能代替品として、精密に加工された高密度カーボンの先端形状と高耐久性により、深い溝のプロファイルの連続測定が可能です。個々のプローブの品質を100%保証し、NISTトレーサブルSEM測定によるプローブ特性値データシートが提供されます。
特長
- 超高アスペクト比－ 探針長さ 2000nm/6000nm/8000nm
- プローブ取付角度－3°または13°
- 機械的安定性を高めるための円錐形プローブ
- 高密度ダイヤモンドライクカーボン(HDC/DLC)により高耐久性
仕様
| 製品名 | 測定 モード |
タイプ | チップ 形状 |
反射 コート |
曲率半径 | ベースプローブ | バネ定数 | 共振 周波数 |
チップ 長さ |
角度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EBD6-400 | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | - | <5nm | NT-RTESP | 40N/m | 396kHz | 6000nm | 13° |
| EBD8-600 | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | - | <5nm | NT-RTESP | 40N/m | 396kHz | 8000nm | 13° |
| EBD2-100A | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | Al | <5nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | 2000nm | 13° |
| EBD3D2-100A | ACモード | 高共振周波数 | 円錐 | Al | <5nm | NT-RTESPA | 40N/m | 396kHz | 2000nm | 3° |