シリコン単結晶探針の先端のカーボンナノファイバーにより、深いトレンチをもつ試料をACモードで形状測定を行うのに適したプローブです。 ナノファイバーの曲率半径の代表値は10nmで、先端から200nmの高さにおける直径は50nmです。
両面金コートのため、大気中と溶液中のどちらでも安定したレーザー反射率をもたらします。四面体探針はカンチレバーの先端に精度よく設置されています。
これにより、高い再現性をもって試料表面の測定位置に探針を合わせる事が可能になります。
カンチレバーと探針側は両方とも金がコートされていますが、カーボンナノファイバー部はコートされていません。