本セミナーでは、薄膜の硬度・ヤング率を測定するナノインデンテーション法に関する基本原理とその応用例をご紹介いたします。
当社社員によるご紹介に加え、装置の製造元であるKLA社よりアプリケーションエンジニアのDr.Kurt Johannsを招聘し、最新の測定事例についてご紹介いたします。ナノインデンターは、材料や製品の機械的完全性、性能、および特性をテストするために設計された実験ツールです。引張試験機または圧縮試験機と同様に、ナノインデンターはサンプルに力を加えて変位の変化を測定しますが、主な違いは力と変位の範囲がそれぞれμNからmN、nmからμmであることです。科学者と技術者は、ナノインデンターを使用して、何十年もの間、広範囲の材料と構造の弾性変形と塑性変形を研究してきました。この講演では、高温、高ひずみ速度、超低荷重での押込み実験を可能にする最近の進歩を紹介します。ナノインデンター技術の概要を紹介した後、極端な試験の重要な実験的解釈について説明します。

セミナーの内容

• ナノインデンター／薄膜硬度計を使った、硬度を代表とする機械特性の評価法及びソリューションの紹介
• 薄膜硬度計（ナノインデンター）の基本原理
  • 従来の押し込み硬度計（ビッカース硬度計など）との違いと測定事例
  • 試験規格ISO14577とは？
  • 薄膜材料における基材の影響除去
• Dr. Kurt Johannsによる最新アプリケーション紹介　～高温、高ひずみ下での試験および超低荷重押し込み～
  • 温度を変化させた際の高分子のクリープ挙動
  • サンプル環境チャンバー内における粘弾性測定
  • プラスチック, 金属, セラミクスに対する衝撃試験
  • 深さ<10nmでのヤング率測定
• 薄膜硬度計（ナノインデンター）の応用事例
  • 薄膜硬度計（ナノインデンター）で取得できる項目・情報
  • ナノスクラッチを用いたひっかき強度と耐摩耗性評価
  • キューブコーナ圧子を用いた破壊靱性試験評価
  • 高分子材料に対する局所動的粘弾性
  • 高速押しこみ試験を用いたイメージングと統計的解析
• iMicro型ナノインデンター　実機デモンストレーション

ナノインデンテーション技術のメーカーとして、KLA社の目標は、新しい材料の特性評価と基本的な機械的挙動の理解を促す最先端の実験装置を科学者に提供することです。ただし、高温または高ひずみ速度でテストする場合は、ツールの裏にある仮定とデータの解釈がいつ、どこで疑われるのかを知ることが非常に重要です。Dr.Kurt Johannsの講演の最後には、ナノインデンテーションテストの現在の限界と将来について議論しています。