最先端デバイスで多用されている機能性薄膜の機械特性は、そのデバイスの耐久性を左右する重要なファクターです。
本セミナーでは、薄膜の硬度・ヤング率を測定するナノインデンテーション法に関する基本原理とその応用例をご紹介いたします。
  
【セミナーの内容】
　　ナノインデンター／薄膜硬度計を使った、硬度を代表とする機械特性の評価法及びソリューションの紹介

　　薄膜硬度計（ナノインデンター）の基本原理
　　　　－ 従来の押し込み硬度計（ビッカース硬度計など）との違いと測定事例
　　　　－ 試験規格ISO14577とは？
　　　　 － 薄膜材料における基材の影響除去

　　薄膜硬度計（ナノインデンター）の応用事例
　　　　－ 薄膜硬度計（ナノインデンター）で取得できる項目・情報
　　　　－ ナノスクラッチを用いたひっかき強度と耐摩耗性評価
　　　　－ キューブコーナ圧子を用いた破壊靱性試験評価
　　　　－ 高分子材料に対する局所動的粘弾性
　　　　－ 高速押しこみ試験を用いたイメージングと統計的解析

　　 iMicro型ナノインデンター　実機デモンストレーション

　　　※プログラムは一部変更になる場合がございます。