オンラインセミナー

　ナノインデンターオンラインセミナー　～半導体材料の機械特性評価事例～

開催日時

2021年1月29日(金)

●ツール

    Zoom ビデオウェビナー

ナノインデンター(薄膜機械特性測定装置)の概要と事例をご紹介いたします。今回は招待講演があります。ルネサスエレクトロニクス株式会社/宇佐美氏とKLA社/Dr.Kurt  Johannsを招聘します。

日時 開催内容 費用 空席 定員 申し込み
2021年1月29日(金)
13:30～15:30		 半導体材料向けナノインデンターオンラインセミナー 無料 200 受付終了
日時 2021年1月29日(金) 13:30～15:30
開催内容 半導体材料向けナノインデンターオンラインセミナー
費用 無料
空席 定員 200
申し込み 受付終了

講演内容

  • LSIパターンを用いたナノインデンテーション法の応用　～Low-k/Cu配線構造の実装不良に関連する評価～

講師：ルネサスエレクトロニクス株式会社　宇佐美　達矢 氏
内容：　ナノインデンテーション法のLSIにおける基本的な用途は、基板上薄膜の機械的特性評価である。しかし、その基本用途とは別に、
　　　LSIパターンを用いたナノインデンテーション法の応用が、最近、その有用性から注目を集めている。
　　　　今回、その一例として、ナノインデンテーション法を用いたLow-k/Cu配線パターン構造の評価結果を報告する。本セミナーでは、
　　　パターン構造の機械的特性と実装不良との関係を議論する。

  • The Role of Nanoindentation in the Fabrication of Semiconductor Devices

講師：KLA Corporation　Dr. Kurt E. Johanns

講師：株式会社東陽テクニカ　岩田　敏一
 

お問い合わせ

ライフサイエンス＆マテリアルズ　担当：多賀、岩田

call  03-3245-1351
mail_outline  bunseki@toyo.co.jp