ナノインデンターは薄膜機械特性評価装置です。ゴムのような柔らかい材料からＤＬＣ膜のような硬質膜までの幅広い材料に対応が可能な装置です。 本ページでは機械的特性とは？というところからナノインデンターの測定原理や薄膜測定の注意点について解説します。

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ワイドギャップ半導体の研究に取り組んでいる独立行政法人物質・材料研究機構　環境・エネルギー材料部門 光・電子機能グループ（以下、光・電子機能グループ）では、ResiTest 8300を利用して酸化物半導体や窒化物半導体などのホール測定を行っている。ResiTest 8300の使い勝手などについて、光・電子機能グループでリーダーを務める大橋 直樹 氏に詳しく話を聞いた。

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東京工業大学　細野・神谷研究室よって開発されたIGZO (InGaZnOx）。この物質を次世代液晶ディスプレイの透明トランジスタとして採用すると大手ディスプレーメーカーが決めた。野村研二氏は、ResiTest 8300のユーザーでもあり、所属する東京工業大学　応用セラミックス研究所　細野・神谷研究室で、透明と酸化物をキーワードとして新材料の設計と探索を進めている。ResiTest 8300の導入効果や使い勝手について、野村 研二氏に詳しく話を聞いた。

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