KLA Corporation

 KLA社は主に半導体検査装置で世界をリードする会社です。KLA社は2018年にKeysight社よりナノインデンターの事業譲渡を受け、また同年ナノインデンターの専門メーカーNanomechanics社を買収しました。Nanomechanics社は、2009年テネシー州にて設立し、Oliver博士が代表を務めておりました。
 KLA社ナノインデンター装置の開発・販売だけでなく、更なる新しい測定方法およびそれを実現するソフトウェアの開発も行っています。また、サービス部門を有しており、分析サービス、カスタマーサポート、更には、顧客の課題に合わせた研究開発促進のための有償コンサルティング業務までも行っているメーカーです

Warren Oliver博士について

1983年にナノインデンターの原型を開発して以降、ナノインデンテーションに関する背景技術の確立と装置の商品化に貢献し続けてきました。 1992年に論文発表したOliver-Pharr法(ナノインデンテーションで用いられる解析手法)は参照数16,000を超えています。その後も14の特許を取得し250以上の論文を発表しており、ナノインデンテーションの第一人者と言われています。http://nanomechanicsinc.com/warren-c-oliver-ph-d/

 ● Warren Oliver博士の経歴

  • 1976年       テネシー大学でBS取得(材料科学)
  • 1981年       スタンフォード大学でMS/PhD取得(材料科学)
  • 1982年~1984年   United Technologies Research Center
  • 1984年~1994年   オークリッジナショナルラボラトリ リサーチサイエンティスト
  • 1983年~1998年   Nano Instruments社 社長
  • 1998年~2008年   MTS Systems社 (2004年~ ゼネラルマネージャー)
  • 2008年~2009年   Agilent Technologies社(現Keysight Technologies)サイエンティスト
  • 2009年~2018年   Nanomechanics社 社長
  • 2018年~現在     KLA社 シニアサイエンティスト

主な製品