KLA社は2018年にナノインデンテーション装置の世界的リーディングカンパニーであるNanomechanics社を買収しました。Nanomechanics社は2009年にWarren Oliver博士により設立され、アカデミック分野、研究分野、産業界に及ぶ幅広いアプリケーションに対応可能なナノインデンテーション装置を設計・製造・販売してきました。