Lake Shore Cryotronics Inc.（レイクショア / USA）
FastHall™ホール効果測定装置/コントローラ M91型
NEW
M91型は van der Pauw/Hall bar(ホールバー)両方に対応でき、半導体材料の比抵抗、キャリア密度(濃度)、移動度を高速で計測するホール効果測定装置です。小型コンパクト卓上サイズで片極･永久磁石/超伝導磁石でもシステム構築でき、PPMSと接続使用も可能です。
ホール測定に必要な電流源、電圧計、高速スキャナ(スイッチ)、計測制御ソフトウエアがコンパクトなワンパッケージに集約され、より高い精度、従来にない測定スピード、利便性を提供する画期的なオールインワンのホール効果測定器です。
米国Lake Shore社が特許を持つFastHall測定技術を搭載しており、ホール電圧測定中に印加する磁場極性を切替える必要がなく、永久磁石や極性切替が困難な超伝導磁石でも より迅速で高感度な測定を可能にします。
（米国特許番号：9797965）
(株)東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Email:keisoku[at]toyo.co.jp
特長
- 抵抗測定範囲：10mΩ - 10MΩ
＊高抵抗オプション 最大200GΩまで対応 - ホール移動度測定範囲：0.001㎠ /V・s 以上
- シートキャリア濃度測定範囲：1017 ㎝-2以下
- FastHall測定技術にて磁場反転の必要なし
- 従来のホール電圧測定時間に比べ約100倍の速さ
- 電流源、電圧計、スキャナの機能を装備
ソフトウェア
多種マグネットシステムに対応
M91型と専用のMeasureLINK-MCSソフトウェアは、あらゆるマグネットシステムを用いて測定が出来るように設定されています。
- 永久磁石
- 電磁石
- 超伝導マグネット
- パルス磁石（パルス△t~100μs)
高速・高精度測定
酸化物半導体などホール測定が困難なサンプルでも、FastHall測定技術を用いることにより、
従来のホール電圧測定時間に比べ約100倍の速さを実現します。
M91型 FastHall vs. 従来のHall測定の測定時間比較(サンプル：IGZO)
従来のホール電圧測定時間に比べ約100倍の速さを実現します。
M91型 FastHall vs. 従来のHall測定の測定時間比較(サンプル：IGZO)
システム構成
M91型は1台で全ての計測部（電流源、電圧計、マトリクススキャナスイッチ）を備えており、
磁石部と試料ホルダー部と組み合わせるだけで測定が可能となります。
M91型を使用することにより、下記システム構成図のように非常にコンパクトなホール測定
システムが構築できます。
磁石部と試料ホルダー部と組み合わせるだけで測定が可能となります。
M91型を使用することにより、下記システム構成図のように非常にコンパクトなホール測定
システムが構築できます。
M91 FastHall Station（オプション）
M91 FastHall Station は、Lake Shore社が提供するM91型と永久磁石、試料ホルダーで
構成された非常にコンパクトな比抵抗/ホール測定システムです。
構成された非常にコンパクトな比抵抗/ホール測定システムです。
- 磁場強度：0.75T
- 温度：室温/液体窒素温度(ジャブ浸け)
- サンプルサイズ：一辺 5～10mmの正方形
厚み1mm以下
