Lake Shore Cryotronics Inc.（レイクショア / USA）
CRX-4K 無冷媒 極低温プローバー
CRX-4K型機械式冷凍機プローブステーションは、冷媒不要のプローバーです。一般的に、フロータイプに比べて機械式冷凍機は振動が大きいためプローバーには不向きと言われていますが、Lake Shore社は振動を1μm以下と非常に小さく抑えることに成功いたしました。また、Lake Shore社のプローバはサンプルを確実に冷やすことができるため、最近話題の量子デバイス、量子コンピュータ、単電子デバイスなどで使用されています。
各種オプションとして、高倍率顕微鏡、真空ポンプシステム、光ファイバー用プローブアームが用意されています。
株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail：keisoku[at]toyo.co.jp
特長
- 機械式冷凍機で冷媒不要
- 5K～350K温度コントロール
- オプション：20K～675K
- 温度安定度：10mK
- プローブアーム最大6本まで
- 周波数：DC～67GHz
- サンプル交換時間：3.5時間
- 低振動：1μm
- 放射シールドにより外部からの熱流入小
- Lake Shore社製 336型温度コントローラ付き
- 70倍CCDカメラ、LDC付き
仕様
基本
| スタンダード | 4.5K（温調 5K to 350K) |
|---|---|
| オプション | 20K to 675K (XPS-HTSTAGE-10945) |
| 温度測定 | サンプルステージ 冷凍機1st/2ndステージ 放射シールド プローブアーム |
| サンプル交換時間 | 3.5時間 |
プローブ部
| 可動範囲 | X軸：51mm (分解能：20μm) Y軸：25mm (分解能：10μm) Z軸：18mm (分解能：10μm) |
|---|---|
| 周波数範囲 | DC/RFプローブ：DC-50MHz GSGプローブ：DC-67GHz |
カメラ/モニタ
| 顕微鏡倍率 | 70倍カメラ(4μm分解能) |
|---|---|
| モニタ | 液晶モニタ |
チャンバー部
| 到達真空度 | 10-2Pa (室温)、10-3Pa(最低温度) |
|---|---|
| サンプルサイズ | φ32mm（GND型）、オプションφ51mm |
| 観察窓 | チャンバの窓（溶融石英）：φ54mm 放射シールドの窓（IR吸収窓）：φ50mm |
| サイズ | 790mm×610mm×1300mm |
| 重さ | 590kg以下(出荷時) |
その他
・コンプレッサ用電源：3相200V±10%、50/60Hz、8.3kWmax
・コンプレッサ用冷却水：７L/min at 28℃ ～ 4L/min at 4℃
