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東陽テクニカ（半導体物性評価）

焦電体評価/熱刺激電流測定システム

焦電体評価/熱刺激電流測定システム

特長 仕様 システム構成 ソフトウェア
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焦電体評価/熱刺激電流測定（TSC）システムは、システムノイズを±5×10-13A以下まで抑える事により、高感度で焦電電流やTSCを測定する事を可能にします。 ポーリング電圧は最大± 1kV まで、制御温度は100K～473K（200℃）範囲で設定する事が出来ます。クライオスタットは、サンプル表面の温度ムラを極力なくすような構造になっており、TSC/焦電電流の測定に最適です。

株式会社東陽テクニカ　脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail：keisoku[at]toyo.co.jp

特長

  • 電流測定範囲　　：±1×10-15A～±1×10-3A
  • システムノイズ　：±5×10-13A以下
  • 印加電圧範囲　　：-1000V～+1000V
  • 制御温度範囲　　：100K～473K（200℃）
  • 温度分解能　　　：0.01K
  • 温度安定度　　　：±0.1K以下
  • サンプルサイズ　：最大15mm×15mm×1mm

試験シーケンス例

  • 任意のポーリング温度に設定
  • 任意のポーリング電圧を印加
  • サンプルを設定温度まで降温
  • ポーリング電圧を取り除く
  • サンプル温度を任意の設定値/上昇率で上昇
  • 温度と電流値を測定

仕様

焦電電流測定部

項目 仕様
概要 サンプルにボーリング電圧を印加し生じる焦電電流を測定します
印加電圧 1000V、20Vの2レンジ
測定電流レンジ 2pA、20pA、200pA、2nA、20nA、200nA、2µA、20µA、200µA、2mA、20ｍA
電流測定機能 0.01fA ～ 20mA
測定分解能 0.001fA
測定機能 電波、電圧、抵抗、電荷
測定分解能 6 1/2桁
コネクタ 電流入力：3ラグ、トライアキシャル（リアパネル）
電圧出力：バナナ電子（リアパネル）
通信インターフェース GPIB、USB、Ethernet
コモンモード電圧 最大500Vピーク
サイズ（ベンチ構成、突起部除く） W261 × D374 × H104mm
標準重量 約4.5kg

温度コントロール部

項目 仕様
概要 クライオスタットの温度を制御します
またサンプル直近の温度センサーを測定します
機能 温度制御機能、温度測定機能
温度測定範囲
（白金抵抗センサ―使用時）		 14K ～ 673K
ヒータ出力 100W、50W
表示桁数 5桁
チャンネル数 4
対応センサー種類 シリコンダイオード、Cernox™、白金抵抗　他
通信インターフェース GPIB、USB、Ethernet
サイズ（突起部除く） W435 × D368 × H89mm
標準重量 約7.6kg

クライオスタット

項目 仕様
概要 本クライオスタットは、サンプルホルダー部全体を冷却する雰囲気方式です
また、サンプル用の温度センサーをサンプル直近に設置しています
制御温度範囲 100K ～ 473K
印加可能電圧 -1kV ～ +1kV
温度分解能 0.01K（温度コントローラ336型使用時）
温度上昇/下降率 上昇時：1K/分 ～ 10K/分（100K ～ 473Kにおいて）
　　　　（参考値　1K/分 → 0.98 ～ 1.05K/分）
　　　　　　　　　5K/分 → 4.80 ～ 5.2K/分）
下降時：1K/分 ～ 10K/分（473K ～ 200Kにおいて）
　　　　1K/分 ～  5K/分（473K ～ 120Kにおいて）
　　　　（参考値　1K/分 → 0.98 ～ 1.05K/分）
　　　　　　　　　5K/分 → 4.80 ～ 5.2K/分）
※参考値はランプ開始後、約3分～7分以降の値です
加熱/冷却方式 ヒーター/液体窒素
サンプル雰囲気 ヘリウムガス
電極 爪電極、四線測定
（上下電極付の薄膜やコイン型対応）
サンプルサイズ 最大　15 × 15 × 1mm
最小　5 × 5 × 0.1mm
サイズ（突起部・ケーブル等除く） W300 × D300 × H580mm
標準重量 約1.5kg

システム構成


ソフトウェア

ソフトウェア設定画面

設定項目

  • 初期温度　　　　　　：測定を開始した時に最初に設定する温度
  • 初期ランプレート　　：ポーリング温度までの温度ランプレート
  • ポーリング温度　　　：ポーリング電圧を印加する時の温度
  • ポーリング電圧　　　：ポーリングするための電圧
  • ポーリング保持時間　：ポーリング温度、ポーリング電圧の保持時間
  • スタート温度　　　　：焦電電流測定の開始温度
  • 降温ランプレート　　：ポーリング温度から測定開始温度までの温度ランプレート
  • スタート保持時間　　：スタート温度の保持時間（オフセット電流をなくすための時間）
  • リミット電流値　　　：電流リミットの設定
  • ストップ温度　　　　：焦電電流測定の終了温度
  • 昇温ランプレート　　：スタート温度からストップ温度までの温度ランプレート

ソフトウェアシーケンス画面