【その他】車載用パワー半導体の評価
概要
LakeShore社製比抵抗/ホール効果測定システムにより、半導体材料のキャリアタイプ、キャリア濃度、キャリア移動度の評価が可能です。独自技術の交流磁場を用いることで、微小なホール起電圧の測定が可能となり、低いキャリア移動度のサンプルにも対応可能です。
特長
- ロックインアンプを用いた交流磁場による微小なホール起電圧の検出(60nV)
- クライオスタット、高温加熱炉と組み合わせた幅広い温度領域(5K~1073K)
構成品
- 比抵抗/ホール効果測定システム
- 温度可変試料ホルダー(オプション)