KLA Corporation

「VTS」加熱・冷却ステージオプション

新製品

ナノインデンターは薄膜や微小領域における硬さ・弾性率などの機械特性評価を行うために広く用いられています。室温環境下での試験報告は多くされていましたが、基礎研究・材料開発・製品化においては様々な温度環境での試験が求められます。 KLA社では新たに加熱・冷却ステージオプションVTS(Variable Temperature Stage)を販売し、ユーザーのニーズに沿った温度環境での試験を提供します。

特長

  • -60℃~300℃までシームレスに試験が可能
  • 0.3℃以下の高い温度制御精度
  • -60℃まで液体窒素を使わずに冷却
  • 加熱・冷却動的粘弾性試験
  • 高速マッピング試験によりドリフトの影響を抑えた加熱試験
  • 機械式のサンプル固定により接着剤不使用

仕様

加熱・冷却ステージ仕様

仕様
対応温度 -60℃~300℃
温度制御精度 ±0.3℃以下
対応機種 ナノインデンター G200X , iNano , iMicro
対応ヘッド InForce50 , InForce1000
対応測定機能 ISO14577押し込み試験 , 連続剛性測定 , 動的粘弾性試験 , 高速マッピング試験

アプリケーション

  • 薄膜硬さの温度依存性評価
  • 加熱高速インデンテーションマッピング
  • ゴムや高分子材料の動的粘弾性試験
  • 微小領域の低温脆化評価

事例紹介