LiteScope
特長
- 同一箇所のSEM イメージングとAFM イメージングが同時かつ同環境下で実現
- 他の相関法に比べて非常に高い時間効率と相関位置精度
- AFMによる微細な凹凸情報や物性情報を、SEM像に重ね合わせ可能
- SEMイメージングにより関心領域への正確なAFM 探針のアプローチ
- SEM/FIB-SEMへの搭載は容易で、すぐに使用可能
テクノロジー
LiteScopeによるAFMとSEMによる相関イメージングの模式図
観察・測定モード
- 形状イメージング/ 表面ラフネス
- 機械特性
- 電気特性 / 電気機械特性
- 磁気特性
アプリケーション
マテリアルサイエンス
- 一次元 / 二次元材料
- 鉄鋼 / 金属合金
- 電池
- セラミックス
- ポリマー / コンポジット
ナノ構造体
- FIB/GIS による表面改質
- 量子ドット
- ナノ構造薄膜
- ナノパターニング
- ナノワイヤ
半導体
- 集積回路
- 太陽電池
- MEMS / NEMS
- 故障回析
- ドーパント可視化
- 電流リーク箇所特定
ライフサイエンス
- 細胞生物学
- 海洋生物学
- 蛋白質工学
事例紹介
FIBのドーズ量を変えながらCdTe表面を加工した箇所をSEMとAFMで観察。
FIB照射エリアのAFM段差計測によりスパッタレートの定量的評価が可能。
SEM、EBICおよびAFMを組み合わせたGaN/AIN/Si 薄膜中の転位の評価。
これらの同時分析により、転位の種類や電気的活性度についての複合的な解析が可能。
ソフトウェア
NenoViewソフトウェア
- 初心者から上級者まで使いやすい操作性を有しながら、高い柔軟性
- 設定条件やデータの自動保存
- データ処理・解析機能やエクスポート機能を搭載
- リモート制御やユーザーデータへのリモートアクセスも可能