HT-Z2-HF型 高周波対応加熱炉システム
特許
HT-Z2-HFは、100℃～800℃までの温度範囲で20 Hz～100 MHz の幅広い周波数範囲のインピーダンスを精度よく測定することが可能な高温・高周波加熱炉制御システムです。高温・高周波対応サンプルロッドHT-Z2-HF-ROD とKeysight 社製インピーダンスアナライザE4990A を用いることで、簡単な補正機能のみで測定が行えます。また、ソフトウエアから加熱炉の温度制御を行い、任意の温度にてインピーダンス測定を実施することが可能です。半導体や絶縁体酸化物などの抵抗素材の抵抗温度依存性などの研究にご使用頂けます。
株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail：keisoku[at]toyo.co.jp
特長
- ● 温度制御範囲
- 100℃～800℃
- ● 温度安定性
- ±0.1K
- ●測定周波数範囲
- DC ～ 100MHz
- ● 測定試料形状
- ディスク状(面積：20mmφ以下、厚み：10mm以下)
- ● サンプル雰囲気
- 大気またはガス置換
- ● 温度コントローラ
- HA-900 温度コントローラ
- ● バイアス電圧サンプル測定 （オプション）
システム構成
HT-Z2-HFは、インピーダンスアナライザとインピーダンスプローブ、高周波対応サンプルロッド、加熱炉シス テム（電気炉と温度調節器）、および制御PC（EDMS制御ソフトウェア） から構成されています。
