Bio-Logic Science Instruments（バイオロジック / フランス）
OSP 非接触表面プロファイラ
OSP（非接触表面プロファイラ）は、非接触レーザー変位センサを利用して、表面プロファイルを高速かつ高精度に測定します。 測定した表面プロファイルを、他5種類の測定テクニックに利用し、サンプル－プローブ間を一定にして測定できます。
株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail：keisoku[at]toyo.co.jp
特長
- 測定パラメータ：
- プローブとサンプル間距離
- サンプル雰囲気：
- 気相
- 測定原理：
- レーザー変位計によりサンプルの表面凹凸を測定
- 特長・用途：
- サンプル凹凸測定
他の測定テクニックに距離情報を転用可
- 測定空間分解能：
- 50μm
ギャラリー
図1. 電気化学センサ表面の
非接触表面プロファイル
（Oncoprobe社サンプル提供）
図2. 集積回路基盤の非接触
表面プロファイル（OSP370）
図3. 図2と同じ回路のSECM
エリアスキャン（SECM370）