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KLA Corporation

In-SEM ナノインデンター

  • In-SEM ナノインデンター
  • In-SEM ナノインデンター 800℃加熱 800℃加熱

In-SEM型ナノインデンターシステムは、電子顕微鏡(FIB-SEM、SEM)と組み合わせることにより、サンプルの微小領域における機械特性情報を、サンプルの変形・破壊挙動のライブイメージと併せて取得が可能となります。

最高800℃までの加熱試験や電気信号測定も可能です。

特長

  • FIB-SEMやSEMと組み合わせて、硬度・ヤング率測定
  • 実験過程のリアルタイム観察
    • 試料変形のリアルタイム観察
    • 荷重変位曲線と試料変形画像の同期
  • EDS／EBSDとの組み合わせ
  • 最高800度の加熱試験が可能

800℃加熱

SEM等の真空チャンバーにとりつけ、サンプルおよび圧子の両方を最高800℃まで加熱しながら試験が可能です。

アルミサンプルの高温歪測定例

アルミニウム材料のクリープ試験のデータです。27℃から550℃までの温度上昇とクリープの関係を対数プロットしました。温度変化に伴い、クリープデータが1 つの曲線に載っています。

事例紹介

MEMSデバイスへの押し込み試験

精密ステージとの組み合わせでMEMSデバイスを評価センサの変形で発生する電気信号の測定も可能に。

ナノピラーの圧縮実験

SEM中で押し込み試験を実施できるようになり、硬度やヤング率などの情報に加えて、圧潰の進行状況を荷重－変位曲線と同期してライブイメージで観察できるようになりました。

圧縮実験前

圧縮実験後

圧縮中の試験荷重と変形のグラフ

メーカーアプリケーションノート(英文)

Instrumented Indentation Testing with the KLA Nano Indenter® systems
ナノインデンターを用いた計装化押し込み試験

High Temperature Nanoindentation Creep Measurements of Al1100
Al1100の高温クリープ測定

Strain Rate Sensitivity of Thin Metal Films by Instrumented Indentation
押し込み試験による金属薄膜のひずみ速度感受性測定

Critical assessment of high speed nanoindentation mapping technique and data deconvolution on thermal barrier coatings
ナノインデンテーション高速マッピングとデータデコンボリューションを用いた遮熱コートに関する精密評価

A critical assessment of the effect of indentation spacing on the measurement of hardness and modulus using instrumented indentation testing
ナノインデンテーション試験を用いて硬度・ヤング率測定を行う際の測定点同士の間隔の影響に関する精密評価