電界放出形走査電子顕微鏡 【MIRA】
特長
- インカラム検出器による二次電子 / 反射電子検出
- EDS検出器との一体化により、観察に加え元素情報を即座に取得
- ユニークな光学系により最低倍率が2倍、容易かつ高精度なサンプルナビゲーションが可能
- チャンバー内の3Dモデル化により、カラムや検出器へのサンプル衝突回避
- 大型で重い試料に対応したチャンバーを用意
- 低真空モード(オプション)によるチャージアップ回避
- カソードルミネッセンスやラマン顕微鏡との融合が可能
サンプルステージの低倍観察
(サンプルナビゲーションが可能)
酸化チタンナノ粒子
はんだ合金
(左:2次電子像、右:反射電子像)
EDSがインテグレートされたユーザーインターフェース
仕様
電子銃 | 高輝度ショットキーエミッタ |
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分解能 | 高真空モード 1.2nm at 30kV 3.5nm at 1kV ビーム減速モード 1.8nm at 1kV 低真空モード (オプション) 1.5nm at 30kV |
最大観察視野 | 50mm at max WD |
加速電圧 | 200V ~ 30kV |
最大プローブ電流 | 400nA |