光学分析･顕微鏡観察用薄型･低振動 LHeクライオスタット　ST-500/500-C

特長計測・制御 ST-500型 / ST-500-C型　仕様サンプルホルダー・光学窓材・電気配線その他のオプションその他の構成

ST-500型低振動クライオスタット　高さ(厚み)：67mm
ST-500-C型低振動クライオスタット　高さ(厚み)：29.5mm
ST-500型サンプルスペース拡張例（Attocubeステージ取付など）
磁場印加用 SNOUTオプション付
磁場印加用 SNOUTオプション＋永久磁石(～0.5T)
磁場印加用 SNOUTオプション＋超伝導磁石室温ボアへの挿入例

低振動･低ドリフト、短い作動距離、光学分析･顕微鏡観察に

ST-500型は、光学分析・顕微鏡イメージング・高分解能フォトルミネッセンス用に、振動やドリフトを最小に抑えるよう設計されたクライオスタットです。液体寒剤は排気ポンプを用いずにデュアの陽圧で移送するためポンプの振動もありません。顕微鏡に搭載して使用できるようレンズ-サンプル間の作動距離が最短：1mm*と短かく、高さ(厚み)は ST-500型：67mm、ST-500-C型：29.5mm と薄型で限られたスペースへの取付が可能です。サンプルは真空雰囲気中で熱伝導により冷却します。透過実験にも対応でき上/下光学窓材も選択できます。
ヘリウム液化･再循環冷却器 RGC4と併用して液体ヘリウム無しで使用することも可能です。

株式会社東陽テクニカ　脱炭素・エネルギー計測部
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Mail：keisoku[at]toyo.co.jp

特長

ST-500型は、光学分析、顕微鏡イメージング、高空間分解能フォトルミネッセンス用に設計されたクライオスタットです。低熱膨張支持構造と内部防振を組み合わせることで、ナノメートルスケールの振動とドリフトレベルを実現しています。薄型形状により高倍率光学系で使用するための短い作動距を実現し、一般的な顕微鏡ステージやトランスレーターに取り付けることができます。サンプルはクライオスタット上部から簡単にアクセスして交換することができます。マイクロラマンやマイクロPLなどのアプリケーションにも最適です。
ST-500/500-C型は、液体ヘリウムだけでなく液体窒素でもお使い頂けます。

主な特長

低熱膨張と内部の振動分離構造、低振動：±15nm、低ドリフト：±2nm
薄型で高倍率の顕微鏡にも対応：高さ(厚み)：67mm、又は 29.5mm
顕微鏡対物レンズ-サンプル間の作動距離：最短 1mm*
　　　　（*：windowサイズ、窓材による）
透過実験にも対応、上/下光学窓材の選択可能
液体寒剤はポンプを用いずデュアの陽圧で移送するため、排気ポンプの振動はありません。

温度範囲：3.5K typ.*(1)～475K、又は 6K～475K
サンプル雰囲気は真空で熱伝導により冷却、約30分 to 5K
PID温度制御用 Lake Shore社校正済み温度センサーとヒーターを内蔵
磁場印加オプションも用意：永久磁石／超伝導磁石
液体窒素でも使用可能

モデル	高さ（厚み）	温度範囲	振動	ドリフト
ST-500型	薄型：67mm	3.5K typ.*(1)~475K	±15nm	±2nm
ST-500-C型	超薄型：29.5mm	6K typ.~475K	±15nm	±2nm

液体ヘリウム無しで使用可能に：ヘリウム液化･再循環冷却器 RGC4（option）

ST-500/500-C型は、ヘリウム液化･再循環冷却器 RGC4と併用することで、液体ヘリウム無しで使用することが可能になります。入手が難しい液体ヘリウムを用意する必要は一切無く、デュアからの寒剤移送の手作業も必要はありません。RGC4と併用する場合でも低振動：±15nm の低振動で LHe液体ヘリウム温度実験を行うことが出来ます。特に光学分析、顕微鏡観察に最適です。

計測・制御

PID温度コントローラ・校正付温度センサー＆ヒーター

クライオスタット内には、PID温度制御用の校正付温度センサー：シリコンダイオードDT670* とヒーターが内蔵されており、Lake Shore社温度コントローラ 335型/336型により安定した温度制御を行えます。
温度センサーは磁場依存性が小さなCernoxセンサーに変更も可能です。

温度･磁場･電気計測制御ソフトウェア MeasureLINK（Option）

MeasureLINKソフトウェアは、クライオスタットの温度制御・温度モニタと同時に、ソースメジャーユニットM81型を用いた高感度電流-電圧測定とデータ収集・グラフ表示を行えます。ガウスメータを用いて磁場制御も可能です。プログラミングの必要はなくドラッグ＆ドロップの容易な操作により、ユーザー定義の測定シーケンスを設定、実行できます。

多ch同期ロックインアンプ内蔵ソースメジャーユニット M81型（Option）

M81型は、クライオスタットの極低温環境下における材料物性･デバイス研究のための、温度-電気測定(I-V抵抗, 微分抵抗測定) に最適な高感度測定器です。
DC+AC出力も可能な精密電源と、微小レベルのDC測定及び Lock in Amp測定機能を有し、低抵抗から高抵抗まで幅広いレンジの測定を行えます。印加-測定を最大3系統まで同期測定でき、FET･ホールデバイスなど多pinデバイスの測定も可能です。超電導、熱電、有機、量子･スピントロニクスデバイスなどの評価に活用頂けます。外付けモジュール構成により、プリアンプ及びソースをクライオスタットの直近に配置できることでサンプルへの信号配線長が最小限に抑えられ、ノイズがより低減し測定感度が向上します。

ST-500型 / ST-500-C型　仕様

仕様

	ST-500型	ST-500-C型
温度範囲	5K typ.～475K 3.5K typ.(*1)オプション（LN2：80K～475K）	6K typ.～475K （LN2：80K～475K）
温度安定性(*2)	±50 mK typ.	±50 mK typ.
初期クールダウン時間（LHe使用時）	約30分 to 5K	約30分 to 6K
公称振動振幅	±15 nm	±15 nm
位置ドリフト	±2 nm/min	±2 nm/min
冷媒消費量（LHe使用時）室温からベース温度まで	～1 L	～1 L
冷媒消費量（LHe使用時）	5K維持：1.1 L/h 10K維持：0.5 L/h 20K維持：0.2 L/h	6K維持：2.5 L/h 10K維持：0.8 L/h 20K維持：0.4 L/h
冷媒消費量（LN2使用時）	80K維持：0.1 L/h	80K維持：0.1 L/h
初期真空レベル要件(*3)	～10^-4 Torr	～10^-4 Torr
動作中の典型的なベース圧力	～10^-5 Torr	～10^-5 Torr

　*1　LHe冷却温度(5K程度)以下はポンプを使用
　*2　温度コントローラ使用時
　*3　寒剤を追加する前に室温で測定された圧力

寸法／重量

	ST-500型	ST-500-C型
全高	67 mm	29.5mm
内径	73 mm	59 mm
サンプルマウント直径	19.05 mm	19.05 mm
重量（トランスファーラインを除く）	3.2 kg	2.4 kg
輸送重量（クライオスタットのみ）	8.6 kg	8.6 kg
輸送重量（トランスファーライン）	9.1 kg	9.1 kg
輸送寸法（クライオスタットのみ）	762 x 508 x 508 mm	762 x 508 x 508 mm
輸送寸法（トランスファーライン）	2057.4 x 660.4 x 127 mm	2057.4 x 660.4 x 127 mm

サンプルホルダー・光学窓材・電気配線

1. サンプルホルダー

サンプル設置面から上部窓内側までの距離をご指定ください。透過光分析の場合は穴あけ加工対応致します。
（サンプルマウント： ST-500/500-C型：Φ0.75 inch（Φ19mm））

サンプルスペース拡張例 / Attocube XYZステージ取付例

磁場印加 SNOUTオプション　永久磁石(～0.5T)/ 超伝導マグネット

2. 光学窓材　　　　詳細はこちら☞

必要な波長に応じて光学窓材を選択できます。詳細については光学窓材オプションを参照ください。

　・Fused silica、Sapphire、Zinc selenide、Zinc sulfide、Diamond、Polypropylene、
　　Crystalline quartz、Kapton、Mylar、　アルミブランクプレート（光学窓不要の場合, option）　など

上部窓

WT-ST-500-020-FS：　上部 S1-UVグレード溶融シリカ窓、0.5mm厚、10mmφ
WT-ST-500-020-SAPH：上部サファイア窓、0.5mm厚、1 inchφ
WT-ST-500-062-FS：　上部 UVグレード溶融シリカ窓、1.57mm厚、1 inchφ
WT-ST-500-080-CAF2：上部 CaF2窓、2mm厚、1 inchφ

下部窓

WB-ST-500-020-SAPH：下部サファイア窓、0.5mm厚、1 inchφ
WB-ST-500-062-FS：　下部 UVグレード溶融シリカ窓、1.57mm厚、1 inchφ
WB-ST-500-080-CAF2：下部 CaF2窓、2mm厚、1 inchφ
WB-ST-500-020-FS：　下部ブランクプレート（光学窓不要の場合）

3. 電気配線フィードスルー　　　　詳細はこちら☞

ユーザーの測定セットアップニーズに合わせて、配線したフィードスルーの提供も可能です。
詳細については電気配線フィードスルーオプションを参照ください。

　　　　

　・多pin：10pin、19pin、26pin、32pin
　・同軸：BNC、Triaxial、SMA
　・ブレイクアウトBOX　など

その他のオプション

1. 校正付温度センサー・PID温度コントローラ

■校正付温度センサー

クライオスタットには、PID温度制御用の校正付温度センサー：シリコンダイオードDT670* が1つ標準装備されています。
磁場印加環境の場合など、他のセンサーに交換可能です。

CX-1050-CU-HT-1.4M　：磁場の影響を受けにくいCernoxセンサー（校正済み）

■PID温度コントローラ

クライオスタットには温度コントローラ335型１台が付属しています。

335型　：2ch入力温度コントローラ
336型　：4ch入力温度コントローラ
335-3060型　：4ch入力温度コントローラ（3060型熱電対オプションカード付）
336-3060型　：2ch入力温度コントローラ（3060型熱電対オプションカード付）

2. 計測・制御

■計測制御ソフトウエア MeasureLINK-MCS

スクリプト開発ライセンス付きのMeasureLINK-MCSソフトウェア。クライオスタットシステムモニタリング、Lake Shore の計測器やサードパーティ機器の計測制御が可能です。購入したバージョンの生涯アクティベーションと、Lake Shore社製機器ドライバ、チャートレコーダー機能、およびドラッグ＆ドロップ測定シーケンスを備えています。一部アプリケーションパックは別売りとなります。

■ロックインアンプ内蔵ソースメジャーユニット M81型

温度-電気測定(I-V抵抗, 微分抵抗測定) に最適な高感度測定器です。AC+DC出力も可能な精密電源と、微小レベルのDC測定及びロックインAC測定機能を有し、低抵抗から高抵抗まで幅広いレンジの測定を行えます。詳細はこちら M81型を参照ください。

M81-SSM-X　：X＝2, 4, 6チャンネルを備えたM81型SMU
　　　　　　　※組み合わせるソースモジュール、測定モジュールは以下をご参照ください。
VM-10　：AC/DC電圧測定モジュール＋ロックインアンプ
BCS-10　：AC/DC平衡電流ソースモジュール
CM-10　：AC/DC電流測定モジュール＋ロックインアンプ
VS-10　：AC/DC電圧ソースモジュール

3. その他のオプション

■Snout拡張

ST-500-EXT-PM　：拡張真空シュラウドと永久磁石用の放射シールドを備えたサンプルマウント拡張
ST-500-EXT-SCON　：SCON に適合する拡張真空シュラウドと放射シールド備えたサンプルマウント拡張

■冷却放射シールド窓（ST-500のみ）

WT-ST-500-SHIELD　：直径0.875インチのクリアビュー溶融シリカ窓とリテイナーが含まれています

その他の構成

磁気測定用のサンプル拡張

磁気測定用のST-500は、磁石のボア内で使用するための拡張サンプルマウントを備えています。この拡張サンプルマウントは、個別に購入することも、最大0.5Tの永久磁石のセットで購入することもできます。

拡張サンプルマウントと永久磁石を備えたST-500を示しています。延長部の長さは発注時に指定でき、サンプルに対する磁石の位置はテフロンスペーサーを使用して固定されます。磁場の方向は、サンプル面に垂直です。

磁気測定用の拡張サンプルホルダーと真空シュラウド、標準サンプルホルダーと真空シュラウドを備えたクライオスタットをそれぞれ注文可能です。また2つのホルダーの切り替えは、サンプルを交換と同じくらい簡単です。

セットは最大5つの交換可能な磁石で構成されます。フルセットでは0.1Tの個別のステップで測定できます。既存のST-500クライオスタットは、特別なサンプルホルダー、真空シュラウドの上部プレート、および放射シールドカバーを注文するだけでアップグレードできます。

超高真空タイプ　ST-500-UHV

ST-500-UHVは顕微鏡検査用のUHVクライオスタットです。
このクライオスタットは、標準のST-500顕微鏡クライオスタットのすでに実証済みの超低振動および熱ドリフトとUHV互換の設計機能を組み合わせたものです。この連続フロークライオスタットには、標準のST-500と同じ熱交換器設計が含まれているため、熱ドリフトが約2 nm /分と低くなっています。また、標準のST-500と同じ低いベース温度（3.8 K）とヘリウム消費量（～1.1 L / h）を備えています。175°C（～450 K）までベーキング可能で、このクライオスタットは真のUHVであり、短い作動距離測定用に構成されたビューポートを備えています。必要な透過範囲に合わせて、さまざまな窓材を利用できます。窓の厚さにもよりますが、作動距離は1mmと短くすることができます。標準のST-500と同様に、この用途の広い設計は、x-y-zモーション用の内部ナノポジショニングステージを受け入れるように変更できます。ナノポジショニングステージを組み込んだシステムは、サンプルの冷却に柔軟なUHV銅製サーマルブレードを利用しています。このクライオスタットは、反射または透過測定用に構成することもでき、電気フィードスルーを備えているため、さまざまな電気測定が可能です。
ST-500-UHVは、液体ヘリウムまたは液体窒素で使用でき、任意の方向で動作します。

マイクロマニピュレーション極低温プローバー

ST-500シリーズプローブステーションは、ウェハーとデバイスに真空および極低温プロービングを可能にする高性能研究用機器です。
ST-500クライオスタットは、これらのプローブステーションのプラットフォームであり、優れたサンプル位置安定性を提供する低振動技術を備えています。
MEMS、ナノスケールエレクトロニクス、超伝導、強誘電体、材料科学、光学など、さまざまなアプリケーションに対応します。

■マイクロ分光オプション ST-500で使用するように構成された特殊なダイヤモンドアンビルセル（Diacell®CryoDAC-ST）はeasyLab TechnologiesLtdから入手できます。ST-500で使用するように構成された特殊なダイヤモンドアンビルセルはD'Anvilsから入手できます。	■attocubeのナノポジショニングステージナノポジショニングステージは、ST-500に取り付けて、多くの短作動距離アプリケーションに使用できます。この設計では標準のST-500クライオスタットをベースとして使用しているため、既存のクライオスタットをattocube構成にアップグレードできます。これらの写真は、光学テーブルと接続する下部に取り付けられた特別なフランジを備えたST-500-attocubeを示しています。

■直径11インチの真空シュラウドを備えた特別なST-500-LGV お客様が設計したサンプルホルダーは非常に大きいため、直径11インチの大きな真空シュラウドを使用しました。	■電気測定用のブレイクアウトボックスアクセサリ電気測定のために複数のフィードスルーを必要とするお客様のために、Janisはブレイクアウトボックスの製作が可能です。写真は、Oリングで密閉された上部と下部のウィンドウとブレイクアウトボックスを備えた特別なST-500を示しています。

■サンプルエクステンションとブレイクアウトボックスアクセサリ	■Oリングで密閉された上部と下部のウィンドウエポキシシールできない柔らかい窓が必要なお客様のために、Oリングシールを使用して窓を取り付けるオプションを提供しています。下部ウィンドウは、クライオスタットの底面と同じ高さになるように凹んでいます。写真は、上部と下部のウィンドウがOリングで密閉されたクライオスタットを示しています。このクライオスタットは、ブレイクアウトボックスも備えていました。

■特別なNW-50トップフランジを備えたST-500 写真は、お客様の既存の機器とベローズとで接続するための特別なNW-50トップフランジを備えたモデルST-500を示しています。	■2つの特別なサンプルホルダーと黒色アルマイトベースプレートを備えたST-500 2つの特別なサンプルホルダー（DIPソケットと特別な顧客設計）、黒色の陽極酸化アルミニウムベースプレートがあります。ベースプレートはお客様の仕様に合わせて設計されているため、お客様は独自のセットアップでST-500を取り付けることができます。 ST-500は垂直に操作されます。このベースプレートの設計には、アダプターフランジが必要です。ベースプレートにタップ穴の代わりにクリアランス穴がある場合、お客様は、特別なハードウェアを独自に用意することなく、ST-500を光学ベンチに直接取り付けることができます。

■光学テーブル用取付フランジこのST-500には、光学テーブルにボルトで固定できる取り付けフランジが含まれています。	■スペアトッププレート写真は、ST-500顕微鏡クライオスタットのアクセサリまたはアップグレードとして利用できるスペアのトッププレートを示しています

■ST-500で使用するための特別なXYマニピュレーターステージ	■高解像度顕微鏡用の超伝導磁石高安定顕微鏡用クライオスタットで動作するように設計されたこのシステムは、最大6Tの磁場中で顕微鏡測定が能/です。このシステムには、サンプルのスキャンとフォーカシング用のxyz変換ステージが付属しており、ヘリウムでの磁気光学イメージング用に設計されています。