Lake Shore Cryotronics Inc.（レイクショア / USA）
CRX-VF 無冷媒・垂直磁場2.5T 極低温プローバー
CRX-VF型機械式冷凍機垂直2.5Tプローブステーションは、CRX-4K型機械式冷凍機プローブステーションに2.5T垂直磁場超伝導マグネットを搭載したプローバーです（超伝導マグネット部も無冷媒です）。
株式会社東陽テクニカ 脱炭素・エネルギー計測部
phone03-3245-1103
Mail：keisoku[at]toyo.co.jp
特長
- 垂直磁場2.5T超伝導マグネット搭載
- 機械式冷凍機で冷媒不要
- 10K～500K温度コントロール
- 温度安定度：10mK
- プローブアーム最大6本まで
- 周波数：DC～67GHz
- 低振動：1μm
- 放射シールドにより外部からの熱流入小
- LakeShore社製 336型温度コントローラ2台付き
- 70倍CCDカメラ、LDC付き
仕様
基本
| 温度範囲 | 10K（温調10K ～ 500K） |
|---|---|
| 温度測定 | サンプルステージ マグネットステージ 冷凍機1stステージ 放射シールド |
| サンプル交換時間 | 8.5時間 |
プローブ部
| 可動範囲 | X軸：51mm （分解能：20μm） Y軸：25mm （分解能：10μm） Z軸：18mm （分解能：10μm） |
|---|---|
| 周波数範囲 | DC/RFプローブ：DC-50MHz GSGプローブ：DC-67GHz |
カメラ/モニタ
| 顕微鏡倍率 | 70倍カメラ（4μm分解能） |
|---|---|
| モニタ | 液晶モニタ |
チャンバー部
| 到達真空度 | 10⁻²Pa （室温）、10⁻³Pa（最低温度） |
|---|---|
| サンプルサイズ | φ32mm（GND型）、オプションφ51mm |
| 観察窓 | チャンバの窓（溶融石英）：φ54mm 放射シールドの窓（IR吸収窓）：φ50mm |
| サイズ | 本体：800mm × 670mm × 1400㎜ コンプレッサ：500mm × 450mm × 530mm コンソール：770mm × 760mm × 1350mm |
| 重量 | 本体：590kg（出荷時） コンプレッサ：143kg（出荷時） コンソール：317kg（出荷時） |
その他
・LakeShore社製 625型超伝導磁石用電源（バイポーラ、±60A/±5V）付き
・コンプレッサ用電源：3相200VAC / 30A、50/60Hz
・コンプレッサ用冷却水：6~9L/min、9kW以上
